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ATLEX-S 系列准分子激光器
 

超紧凑设计

高重频

TMC外壳

电晕预电离技术

固体开关

激光头尺寸<3I

风冷,热管理

可冲洗光学架

集成4气门系统,便于气体处理

RS485RS232USBFOC接口

带有能量稳定模式

CE欧标,RoHS认证


指标:

气体

ArF

KrF

波长(nm

193

248

高压开关

固体开关

固体开关

最大重频(Hz

300

500

300

500

最大脉冲能量(mJ)1)

10

15

最大平均功率(W

2.4

4.0

4.0

6

脉冲宽度 ns

5-8

光束尺寸(V x H(mm)2)

4x6

发散角(V x H)(mrad2)

1x2

能量稳定性

3%

尺寸 (mm)

630x400x300

重量 kg

65

冷却方式

Air

供电要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase


1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降

2) 典型值,FWHM




 
 
 
 
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