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ATLEX-I 系列准分子激光器
 

TMC外壳

电晕预电离技术

固体开关

激光头尺寸<3I

风冷,热管理

可冲洗光学架

集成4气门系统,便于气体处理

RS485RS232USBFOC接口

带有能量稳定模式

CE欧标,RoHS认证


指标:

气体

F2

ArF

KrF

XeCl

XeF

波长(nm

157

193

248

308

351

高压开关

固体开关

最大脉冲能量(mJ)1)

1

10

15

8

7

最大平均功率

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBGW

 

0.2

0.5

 

2.4

4.0

 

4.0

6.5

 

2.0

3.0

 

1.7

2.5

最高重频

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG  (Hz)

 

300

500

脉冲宽度 ns

5-8

光束尺寸(V x H(mm)2)

4x6

发散角(V x H)(mrad2)

1x2

能量稳定性

3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 kg

60

冷却方式

Air

供电要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase


1) 在低频时测量;稳定模式下,允许10%的能量和功率下降

2) 典型值,FWHM


 
 
 
 
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