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SLM 266激光器
 


SLM 266系统是一种单频全固态激光器,应用于深紫外领域,如晶圆表面检测、光谱仪校准和全息应用频谱带宽<80MHz,接近其理论的傅里叶极限。该激光器提供8-10ns的短脉冲,其衍射极限光束下M2<1.7,重复频率1到15kHz。在波长为266nm下平均功率高达500mW以上, 并且拥有超稳定的脉冲痕迹和与传统激光器相比的1.8m的相干长度。由于CW模式的单频种子源,连续的激光脉冲保持在同一相位,允许稳定的干涉模式,所以可以应用到直接曝光光刻上。另外500 mW的平均功率允许短的曝光时间,实现大的吞吐量。


特点:

● 单纵模

● TEM00光束

● Q开关全固态激光器

● 波长266 nm


应用:

○ 晶圆表面检测

○ 光谱仪校准

○ 光刻

○ 光致发光

○ 全息成像

○ 干涉测量

○ 拉曼光谱

○ 度量衡学


可选项:

○ 图形用户界面

○ Labview库文件

○ CDRH符合性快门



典型参数&光斑轮廓


激光头尺寸:



系统尺寸:



电学参数:



 
 
 
 
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